蚀刻残留物去除剂
            简要描述:杜邦蚀刻残留物去除液
            产品型号: EFC270
            所属分类:EKC270蚀刻残留物去除剂
            更新时间:2019-01-17
            厂商性质:生产厂家
            
           
          
         
        详情介绍
         
 
杜邦™plasmasolv®ekc265™蚀刻后残留物去除            
特点:
制定zui jia的金属堆栈完整性  
“改进”宽窗口处理能力
强化蚀刻残余物去除
清洗的掩膜减少化学残留
超大规模集成电路(ULSI)级规格*进封装清洗
工作温度下蒸发速率低
 
应用:        
应用EKC265™蚀刻后残留物器广泛应用在半导体行业,以满足关键的清洁需求            
从高深宽比MEMS器件100μm+ 到*进DRAM 的70nm集成的各个阶段
下面列出了常见的应用程序: 
- 接触清洁             
- 金属线清洁 
- TSV深硅穿孔清洁            
- 钨埋位线清洗             
- 聚酰亚胺清洗             
- Pad清洁             
- MEMS清洗 
