NEE-4000E-Beam电子束蒸发系统

简要描述：NEE-4000E-Beam电子束蒸发系统： NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置，其中样品台位于主腔体内，二级腔体则用于安置电子束源。两腔体之间带有门阀作为预真空锁，使电子束源腔体保持真空的情况下，通过主腔体放入基片到样平台（或夹具）上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时，可以通过第三方的预真空锁来实现。通过PC计算机控制，系统可以提供多电子束源的共蒸发能力，以及对组分或组分梯度进行编程

产品型号：

所属分类：热蒸发镀膜热蒸发镀膜

更新时间：2017-03-03

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NEE-4000E-Beam电子束蒸发系统

NEE-4000E-Beam电子束蒸发系统概述：

NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置，其中样品台位于主腔体内，二级腔体则用于安置电子束源。两腔体之间带有门阀作为预真空锁，使电子束源腔体保持真空的情况下，通过主腔体放入基片到样平台（或夹具）上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时，可以通过第三方的预真空锁来实现。通过PC计算机控制，系统可以提供多电子束源的共蒸发能力，以及对组分或组分梯度进行编程的能力。

产品特点：

顺序蒸发或共蒸发
双电子束源
多凹槽电子枪
可编程电子束扫描
10KW开关电源
涡轮分子泵，极限真空5x10-7Torr
手动上下载片，带预真空锁
自动上下载片
材料和衬垫更换非常方便
晶振式膜厚监测仪
通过LabView软件实现PC计算机控制
菜单驱动，四级访问密码保护

产品型号：

NEE-3500：计算机全自动控制的紧凑型独立系统
NEE-4000：计算机全自动控制的独立系统

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